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顯微鏡
您當前的位置 : 產品展示 精密光學檢測顯微系列 晶圓/硅片檢測顯微系統

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上海光學儀器廠

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  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

763NL

SG-763NL檢測顯微鏡

一.產品用途

    SG-763NL明暗場檢測顯微鏡廣泛的應用于透明,半透明或不透明物質,比如金屬陶瓷、電子半導體芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結構、痕跡,都能有很好的成像效果。

二.產品特點

1. 6″大行程移動工作臺,面積445mm×240mm,行程158×158mm,可適用于相應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測;

2. 高性能物鏡轉換器,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也較好控制

3. 觀察方式:明場/暗場/偏振光/透射光/微分干涉(選購)

三.技術規格

1. 光學系統:無限遠光學系統

2. 觀察頭:45°鉸鏈式三目正像觀察筒,瞳距52mm-75mm

3. 高眼點目鏡PL10X/22mm視度可調 

4. 無限遠長工作距離明暗場金相物鏡

放大倍數

數值孔徑

工作距離(mm)

PL L5×

0.15

9.0

PL L10×

0.30

9.0

PL L20×

0.45

3.4

PL L50×

0.55

7.5

PL L100×干)

0.80

2.1

5. 光學總放大倍率:50×-1000×

6. 物鏡轉換器:明暗場五孔內傾式轉換器,帶DIC插槽

7. 6″雙層機械移動平臺,面積445mm×240mm行程158x 158mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y軸移動手輪,同時快速移動

8. 調焦機構:粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。

9. 照明器系統:反射照明器系統: 12V100W鹵素燈,光強連續可調

透射照明系統:單顆大功率5W LED

10. 簡易偏光裝置:起偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板

11. 適配鏡:直徑59mm,放大倍率0.5倍 ,內調焦距:0~3mm調焦后可鎖緊

12. 顯微鏡工業相機:圖像傳感器: 采用Sony CMOS傳感器,像素630萬;芯片靶面:1/1.8";像素點尺寸:2.4μmx2.4m;分辨率:3072 x 2048;幀率:30fps全分辨率;G光靈敏度:0.15mv-425mv;曝光時間: 0.1ms-15ms;光譜響應范圍:380-650nm(有紅外截止濾光片情況下);掃描方式:逐行掃描;快門:電子快門;數據接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手動調整。

13. 軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能,可以對所攝圖像進行文字編輯,比例尺顯示;超景深擴展;長度,角度,弧長測量;點,線,平行線,垂直測量;園、橢圓測量;矩形,不規則形狀的周長、面積、重心位置等幾何參數測量。

四.配置清單

1. 顯微鏡/1

2. 大視野目鏡10×/1

3. 無限遠長工作距離金相物鏡5×10×20×50×100×/1   

4. 0.5倍適配鏡/1

5. YH-630顯微鏡工業相機/1

6. 0.01mm校準尺/1

7. 簡易偏光裝置/1

8. 鹵素燈12V100W/2只

9. 產品合格證、保修卡及說明書/1


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